SK하이닉스, 반도체 노광 공정에 국산 네온가스 사용 늘린다

40%까지 확대…2024년엔 100% 도입

경기도 이천의 SK하이닉스 공장. 연합뉴스

에스케이(SK)하이닉스는 처음으로 국산화에 성공한 네온(Ne) 가스의 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다. 네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다.

이날 에스케이하이닉스는 국산 네온 가스 도입 비중을 늘려 불안정한 국제정세에도 안정적으로 수급 중이며, 구매 비용도 아낄 수 있게 됐다고 밝혔다. 2024년까지는 국산화 비중을 100%로 늘린다는 계획이다.

그동안 네온 가스는 우크라이나와 중국, 러시아 등에서 100% 수입해왔다. 국제정세가 불안해지고 가격이 상승하자 에스케이하이닉스는 국산화에 나섰고, 협력사인 특수가스 전문기업 티이엠시(TEMC)와 포스코와 함께 올해 초 국산화에 성공했다. 티이엠시와 포스코는 기존 설비를 활용해 적은 비용으로 네온 생산 기술을 개발했고, 에스케이하이닉스는 이를 평가·검증했다. 국산 네온은 포스코에서 생산된 뒤 티이엠시의 가공을 거쳐 에스케이하이닉스에 공급되고 있다.

네온은 반도체 주요 공정 가운데 하나인 웨이퍼(반도체 생산을 위한 원형판) 위에 빛으로 회로를 그리는 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 네온은 엑시머 레이저 가스 성분의 95%를 차지하지만, 공기 중에 0.00182%밖에 존재하지 않는 희귀자원이다. 윤홍성 에스케이하이닉스 팹(FAB)원자재구매담당(부사장)은 “불안정한 공급 상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 말했다.

이정훈 기자 [e-mail]