염한웅 교수팀, 세계 최소폭 나노선 개발

염한웅 교수팀, 세계 최소폭 나노선 개발

국내 연구팀이 실리콘 반도체 소자에 쓸 수 있는 세계 최소 1나노미터 폭의 나노 선을 개발했다.

연세대 원자선원자막연구단의 염한웅(사진0 교수 연구팀은 2일 “회로 선의 폭이 현재 초고집적 실리콘 반도체 소자에 쓰는 것보다 50분의 1 가량 작은 1나노미터(㎚·10억분의 1m) 폭의 금속 선을 실리콘 기판 위에 만들었으며, 여기에 실리콘 원자를 불순물로 섞어 전기전도 특성을 바꿀 수 있는 도핑 기술을 개발했다”고 밝혔다. 이번에 개발된 나노 선은 원자 1~3개 가량 굵기로 구현돼 ‘원자 선’이라고도 불리는 극한의 물질계다. 자연에 존재할 수 있는 가장 작은 선이다.

이 연구는 국제학술지 <피지컬 리뷰 레터스> 지난달 28일치에 실렸으며, 후속 논문도 이달 9일치에 발표될 예정이다.

연구팀은 실리콘 기판에 금 원자를 두 줄로 정렬해 폭 1나노미터의 선을 만들고, 다시 나노 선 위에다 실리콘 원자를 점점이 섞어 농도를 조절하는 방식의 반도체 도핑 기술을 개발했다. 이어, 실험에서 이 방법으로 나노 선의 전기전도 특성을 조절·제어할 수 있음을 증명했다. 염 교수는 “이 기술이 실리콘 반도체 소자의 집적도를 획기적으로 높이는 데 쓰일 수 있을 것”이라고 기대했다.

오철우 기자 [e-mail]