반도체 세정장비 기술 통째로 해외 유출 일당 적발

검찰, 삼성전자 자회사 세메스 전 연구원 등 7명 구속기소

세메스가 개발한 세정장비. 황산을 포함한 고온의 약액을 사용해 미세패턴 세정코팅을 가능하게 하는 장비(BOO)와 웨이퍼 이송로봇의 팔을 2개에서 4개로 늘려 세정속도를 높이는 장비(LOO) 부분에서 기술력을 선도하는 것으로 알려져 있다. 수원지검 제공

세계 최초로 개발한 반도체 세정장비 기술을 빼내 국외 유출한 혐의로 삼성전자 자회사 세메스 전 연구원 등 7명이 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부(부장 이춘)는 25일 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률, 산업기술보호법 위반 등 혐의로 세메스 전 직원 ㄱ(46)씨 등 7명을 불구속기소 했다. 이들을 도운 세메스 전 연구원 2명도 불구속 기소하고, ㄱ씨가 범행을 위해 설립한 회사 법인도 함께 재판에 넘겼다.

ㄱ씨 등은 2018년 3월부터 지난해 12월까지 부정하게 빼낸 세메스의 기술정보로 동일한 사양의 반도체 세정 장비 14대를 제작한 뒤 관련 기술과 함께 중국 업체와 연구소 등에 팔아넘겨 710억원을 챙긴 혐의를 받는다. 이들이 빼낸 것으로 의심받는 기술은 반도체 기판에 패턴을 만드는 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 장비로, 세메스가 세계 최초로 개발했다.

ㄱ씨 등은 세메스 퇴직 후 회사를 차린 뒤 퇴사 전 관련 기술을 반납하지 않거나 협력업체 대표 등으로부터 기술정보가 담긴 부품 자체를 받는 수법으로 기술을 빼낸 것으로 조사됐다. 설계도면, 부품 리스트, 약액 배관 정보, 작업표준서, 소프트웨어 등 세정장비와 관련한 거의 모든 기술을 빼냈다고 검찰은 판단했다.

ㄱ씨 등은 중국에 설립한 합작법인으로 관련 기술을 모두 이전하고, 그 대가로 합작법인 지분 20%를 취득하려는 계획도 세운 것으로 드러났다. 이들은 지난해 10월 국정원 산업기밀보호센터의 첩보로 검찰 수사가 시작되자 하드디스크 및 휴대전화 등을 교체하는 등 관련 증거를 숨기거나 없앤 혐의도 받는다.

한편, 세메스는 기술 개발 연구비 등으로 2188억원을 투자했다. 기술경쟁력 저하로 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억원 이상의 손해가 발생하는 것으로 파악됐다.

이정하 기자 [e-mail]