KAIST 김상욱 교수 논문 ‘사이언스’에 발표

차세대 나노반도체 구조제작 연구결과 발표

김상욱(32) 한국과학기술원(카이스트) 신소재공학과 교수는 차세대 나노반도체 제작에 필요한 구조 연구개발과 관련한 논문을 3일치 <사이언스>에 게재한다.

논문 제목은 ‘비정형적인 구조들을 가지는 반도체 소자 제작을 위한 블록공중합체의 나노구조 조절’로, 김 교수는 미국 위스콘신 주립 대와 스위스 폴 쉬러 연구소 연구팀과 공동 연구했다.

블록공중합체는 서로 다른 두 종류 이상의 고분자 사슬이 화학결합을 통해 강제로 연결돼 있는 독특한 형태의 고분자로, 연구팀의 목표는 수십 나노미터 이하 수준의 반도체 선폭으로 이용하기 위한 구조를 만드는 것이다. 나노 현상을 실제 전자장치나 바이오센서 등에 적용하기 위해서는 넓은 면적에 나노소자들을 원하는 형태로 배열시킬 수 있어야 하기 때문이다.

김 교수는 블록공중합체의 나노구조를 원하는 형태로 조절하기 위해 차세대 반도체 공정을 도입함으로써 완벽하게 조절된 나노구조들을 얻는 데 성공해 2003년 7월 <네이처>에 관련 논문을 게재한 바 있다. 이근영 기자 [e-mail]